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滑動PECVD管式爐系統(tǒng)

簡要描述:OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源,三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)(量程為1-100SCCM,
1-200SCCM,1-200SCCM),直徑為60mm的開啟式管式爐(帶真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。

  • 產(chǎn)品型號:OYS-1200C-II-60-PECVD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-01-08
  • 訪  問  量:210
詳細介紹
品牌HF.weiyuansu價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),冶金,航天,綜合

術(shù) 數(shù)

規(guī)格型號

最高溫度

加熱區(qū)長度

加熱區(qū)長度

額定功率

額定電壓

外型尺寸

重量

OYS-1200C-SL

1200℃(<0.5 h)

Φ25*1000mm

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

Φ100*1000mm

440mm(單溫區(qū))

3.1 KW

AC220V

1680mm*490mm*700mm

75KG

●●●●爐體結(jié)構(gòu):采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度;爐膛采用高純氧化鋁纖維材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命,帶有過熱和斷偶保護,開門斷電,提高實驗安全性;爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

控溫系統(tǒng):包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認DB9 PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)。

爐管:高純石英管φ100*1000mm,鍍鉻鋼制成的雙滑軌,手動滑軌長度1400mm。

真空法蘭:

◎配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。

◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。

◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應氣體。

◎一個機械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。

◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進氣口,出氣端配有獨立的Φ9.2mm排氣口和球閥,設(shè)備預留KF25抽氣口和KF16真空計連接口,可連接真空組件。

真空組件:

◎配齊真空泵1臺(抽速≥16m3/h,真空度≤5.0X10-1Pa)

◎電阻真空計1套

◎手動擋板閥1個

◎波紋管1根

◎油霧過濾器1套

◎卡箍(型號:KF25)≥3個,以及相應連接件

極限真空度:≤1Pa(冷態(tài)空載)

進氣:

◎配浮子流量計1套,量程可選,安裝在設(shè)備上;

◎氣瓶配備氣體減壓閥1套

標準配件:石英管 ≥1 支,莫來石管堵 ≥1 對,不銹鋼法蘭 ≥1 套,硅膠密封圈 ≥2 套,高溫手套 ≥1 副,爐鉤 ≥1 支

認證標準及核心零部件:整機核心部件均符合CE、UL、MET等認證標準;核心零部件有ABB電器元件,UL認證電線、電纜,歐米茄,宇電、歐陸儀表等。

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